本项目研发及检测过程中涉及使用的危险化学品包括：硅烷、氨、氮[液化的]、氩[压缩的]、氦[压缩的]、六氟化硫、三氟甲烷、四氟甲烷、八氟环丁烷、氧[压缩的]、一氧化二氮[压缩的]、二氯硅烷、正硅酸乙酯、氢氟酸、盐酸、过氧化氢溶液、丙酮、异丙醇、氢氧化钠、乙醇[无水]、硫酸、四甲基氢氧化铵、六甲基二硅烷胺、光刻胶等。